3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能非接觸直線電機、音圈電機測力系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度和輪廓進行測量和分析。通過高精度研磨導(dǎo)軌、高性能直線電機保證測量的高穩(wěn)定性及直線度，采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標，計算機通過修正算法對光柵數(shù)據(jù)進行修正，還原出工件輪廓信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對輪廓進行各種參數(shù)分析。
表面輪廓粗糙度儀為全自動測量設(shè)備，操作者只需裝好被測工件，在檢定軟件上設(shè)定掃描的開始、結(jié)束位置，點擊“開始”按鈕，測針會自動接觸工件表面，并按設(shè)定的位置掃描；可高精度地測量精密加工零部件的粗糙度和輪廓形狀，再選擇所需評價參數(shù)即可進行評價。
3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀能實現(xiàn)下列功能：
1.建立回歸直線和圓形；
2.建立點、交點、自由點、中心點、高點和低點；
3.建立坐標系統(tǒng)；
4.計算半徑、距離、角度、坐標及線性偏差；
5.實際值與標稱值比較；
6.測量程序自動運行；
7.表面粗糙度評定：Ra、Rz、Rt、RS、RSm、Rp、Rv、Rq、Rt、Rmax、D、Rmr曲線、Rdc等；
8.濾波：2RC濾波，高斯濾波和零相位濾波器；
9.測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢測員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理測量記錄；
10.可從數(shù)據(jù)庫中選定多條記錄成批打印測量記錄；
11.可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔；
12.具有數(shù)據(jù)備份和還原數(shù)據(jù)庫功能。
3D光學(xué)表面輪廓粗糙度儀的主要應(yīng)用：
1.臺階高度：2D和3D臺階高度；
2.紋理：2D和3D粗糙度和波紋度；
3.形狀：2D和3D翹曲和形狀；
4.應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力；
5.缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌；
6.大學(xué)、研究實驗室和研究所；
7.半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體；
8.LED：發(fā)光二極管；
9.太陽能；
10.MEMS：微機電系統(tǒng)。
